Kurzbeschreibung
Ausgangssituation: Wasserstoff wird in der Halbleiterfertigung von Infineon, Villach als Trägergas für Silizium-Precursoren wie Trichlorsilan in der Abscheidung epitaktischer Siliziumschichten verwendet. Nach dem Fertigungsprozess wird Wasser¬stoff unverbraucht und verdünnt an die Atmosphäre abgegeben. Hohe Reinheits¬anforderungen (8.0 entsprechen 99,999999 Vol%) an den eingesetzten Wasserstoff gepaart mit hohem Verbrauch stellen große Herausforderungen an Qualitätssicherung, Versorgungs¬systeme und Logistik dar. Bisher erfolgt die Versorgung mit Flüssigwasserstoff, der aus fossilen Rohstoffen hergestellt und mittels LKWs aus Leuna (DE) bzw. Rozenburg (NL) ange¬liefert wird. Europaweit existieren lediglich drei Bezugsquellen für verflüssigten Wasser¬stoff. Steigende Fertigungsvolumina sowie die Einführung neuer Halbleiterprodukte und Technologien führten in den letzten Jahren zu einem stark steigenden Wasserstoffbedarf bei Infineon und das bisherige Versorgungskonzept an sein Kapazitätslimit. Alternative und nachhaltigere Konzepte sind daher zu evaluieren. Ziele und Innovationsgehalt: Das übergeordnete Ziel von H2Pioneer ist es eine Onsite-Lösung für den in Zukunft steigenden Wasserstoffbedarf in der Halbleiterindustrie darzustellen. Angestrebte Ergebnisse: In H2Pioneer wird eine Demonstrationsanlage zur Erzeugung von hochreinem Wasserstoff aus erneuerbaren Stromquellen und PEM-Elektrolyse vor Ort bei Infineon umgesetzt. Neben der Sicherstellung höchster Reinheitsanforderungen von 8.0 soll die Versorgungssicherheit erhöht werden. Ein Anlagenkonzept für die Verwertung des bis dato an die Atmosphäre abgegebene Wasserstoffs wird erarbeitet. Dabei wird sowohl die Rezyklierung in den Wasserstoffversorgungspfad als auch die energetische Nutzung des Wasserstoffs betrachtet. Dadurch wird ein wesentlicher Beitrag zur Effizienzsteigerung der Wasserstoffproduktion und -verwertung sowie der Etablierung der „green industry“ und Sektorkopplung im Rahmen der Projektziele von WIVA P&G geleistet.